실리콘 일렉트로드 (Silicon Electrodes)

반도체 건식 식각공정에서 챔버 상부에 위치하여 가스 플로우 (Gas Flow) 시 웨이퍼 표면에 플라스마를 균일하게 분사시키는 역할을 수행하는 소모성 부품 으로 샤워헤드 (Shower Head) 로도 불리웁니다